中走絲線切割加工中同內圓切割技能比較有其顯著的缺點,一是片厚平均誤差較大(約為內圓切割技能2倍)。二是切割進程中智能檢查操控不易完成。三是切割進程的成功率請求較高,危險大,一但斷絲而不行搶救時,直接糟蹋一根單晶棒。四是不能完成單片質量操控,一次切割完成后,才干檢查一批圓片的切割質量,而且圓片之間切割質量也不相同。在這些方面,電火花中走絲線切割內圓切割技能卻顯示出其優越性來。
具體表如今:
1、主動、單片方法切換操作便利性。
2、小批量多標準加工時靈敏的加工可調性
3、切片精度高,切片成本低,同標準級的內圓切片機報價為線切割機報價1/3~1/4,線切割機床還需配置專用粘料機,每片都可調整。
4、低成本的輔料(線切割機磨料及磨料液要守時更換)。
5、不同片厚所需較小的調整時刻,不同棒徑所需較小的調 整時刻。6、修刀、裝刀便利。八十年代中后期人們普遍認為:跟著硅晶片大片徑化發展,線切割技能是硅片切割的干流技能,在規?;A片切割中將替代內圓切割技能。因而人們加大了對200mm以上線切割機的研討,以處理其技能缺乏。